コーティングの流れ
機械の外の作業、機械の中の作業
- コーティング開始
- 1.洗浄 基材の表面から、ゴミ、水分、油脂分などの異物を超音波洗浄、アルコールで取り除く
- 2.マスキング 基材にマスキングをし、治具に取り付ける
- 3.真空引き チャンバーに基材を入れ、チャンバー内の空気を抜く（5×10-4）
- 4.エッチング アルゴンで基材表面の酸化などの変化を起こした分子、余分な分子を剥がす
- 5.中間層成膜 基材との密着性を上げるための中間層の成膜を行う
- 6.表面層成膜 基材の用途、機能、欲しい性能に合わせた、表面の成膜を行う
- 7.スローリーク 基材の温度を下げ、徐々に大気圧に戻して行き、基材を取り出す
- コーティング終了
- 8.チャンバークリーニング 基材を取り付けた治具、チャンバー内に着いた余分な膜をプラズマで取り除く